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◆ 用途指南
☆ 循環凈化設備是針對高污染條件下的氣體凈化裝置。允許原氣質量為70%-90%，純氣能夠達到99.96%-99.9999%。
◆ 技術特點
☆ 設備系統由收集、預凈化、凈化、純化等單元構成。設備處理后的Ar、He等氣體可用于循環使用。
☆ 整套系統由PLC控制，可與網絡聯機，實現無人值守的監控。
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